二、预处理工具的标准化配置
三、未净化装备的梯度净化流程
四、预处理后的性能验证体系
五、异常情况处理方案
预处理过程中出现以下情况需启动应急机制：
检测数据连续3次超标：启动设备自检程序并报修
人员操作失误导致污染：启动二次净化流程（需增加5道清洗工序）
相关问答：
如何判断装备是否需要预处理
超声波清洗频率如何选择
预处理失败后如何补救
答：启动二次净化流程，增加等离子体清洗和纳米涂层修复工序。
抛光膏使用后如何彻底清除
答：必须配合异丙醇溶液进行三次清洗，每次间隔30分钟。
环境温湿度对预处理有何影响
如何检测预处理后的绝缘性能
答：使用高精度兆欧表，测试标准需达到10^12Ω以上。
哪些工具必须定期校准
如何处理预处理过程中产生的废液